[发明专利]双光路绿光微孔加工装置无效
申请号: | 200910031354.1 | 申请日: | 2009-04-30 |
公开(公告)号: | CN101569962A | 公开(公告)日: | 2009-11-04 |
发明(设计)人: | 赵裕兴;郭良 | 申请(专利权)人: | 苏州德龙激光有限公司 |
主分类号: | B23K26/38 | 分类号: | B23K26/38;B23K26/06;B23K26/04 |
代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 | 代理人: | 陈忠辉 |
地址: | 215021江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供一种双光路绿光微孔加工装置,包括皮秒脉冲激光器、纳秒脉冲激光器、光路校准系统和光学聚焦系统,皮秒脉冲激光器的输出端布置有第一反射镜,纳秒脉冲激光器的输出端布置有第二反射镜,第一反射镜和第二反射镜均与第三反射镜相衔接,第三反射镜的输出端设置光闸,光闸的输出端连接有扩束镜,扩束镜的输出端衔接有第四反射镜,第四反射镜通过光路校准系统与光学聚焦系统相衔接。采用光脉冲长度为纳秒、皮秒的两种激光器,光束的选择由光路选择系统控制,可仅使用一种激光器进行加工,亦可在加工过程中由两种激光器交替使用。双光路系统不仅保持了激光加工微孔的优势,而且针对不同的加工精细度和成本要求,可灵活选择加工方式。 | ||
搜索关键词: | 双光路绿光 微孔 加工 装置 | ||
【主权项】:
1.双光路绿光微孔加工装置,包括皮秒脉冲激光器、纳秒脉冲激光器、光路校准系统和光学聚焦系统,其特征在于:所述皮秒脉冲激光器的输出端布置有第一反射镜,所述纳秒脉冲激光器的输出端布置有第二反射镜,第一反射镜和第二反射镜均与第三反射镜相衔接,第三反射镜的输出端设置光闸,光闸的输出端连接有扩束镜,扩束镜的输出端衔接有第四反射镜,第四反射镜通过光路校准系统与光学聚焦系统相衔接。
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