[发明专利]基于微悬臂梁结构的介电伸缩系数测量方法有效
| 申请号： | 200910033237.9 | 申请日： | 2009-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN101634673A | 公开（公告）日： | 2010-01-27 |
| 发明（设计）人： | 黄庆安;黄见秋;秦明 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01R27/26 | 分类号： | G01R27/26;G01B11/16 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人： | 叶连生 |
| 地址： | 211109江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 基于微悬臂梁结构的介电伸缩系数测量方法，尤其是对氧化硅，氮化硅等微电子薄膜材料介电伸缩系数的测量方法。第一步：将测试样品(1)固定在PCB板(2)上，探针(3)从正面或背面对悬臂梁自由端加载集中力，第二步：在悬臂梁固支端由金属(6)、待测介质薄膜(7)以及N+硅膜(8)组成的检测电容(9)处，通过栅线投影相关法测量检测电容的形变，进而确定介质中的应力载荷，第三步：由LCR测试仪测量检测电容在不同应力下的电容变化情况，第四步：由电容变化量提取介质的介电常数变化量，第五步：得出介电常数随应力变化的材料系数，即介电伸缩系数。该测量方法采具有测试方法简单可靠，测试精度高，适用于对微电子薄膜材料进行测量等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 悬臂梁 结构 伸缩 系数 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于微悬臂梁结构的介电伸缩系数测量方法，其特征在于采用微加工工艺制作的悬臂梁样品进行测量，具体包括：第一步：将测试样品(1)固定在PCB板(2)上，探针(3)从正面或背面对悬臂梁自由端加载集中力，背面加载时，PCB板(2)由支架(4)支撑，探针通过PCB板(2)上的通孔(5)加载，第二步：在悬臂梁固支端由金属(6)、待测介质薄膜(7)以及N+硅膜(8)组成的检测电容(9)处，通过栅线投影相关法测量检测电容的形变，进而确定介质中的应力载荷，第三步：由LCR测试仪测量检测电容在不同应力下的电容变化情况，第四步：由电容变化量提取介质的介电常数变化量，第五步：得出介电常数随应力变化的材料系数，即介电伸缩系数。
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