[发明专利]绿光和紫外光激光抛光蓝宝石的复合工艺方法无效
| 申请号： | 200910037055.9 | 申请日： | 2009-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN101524819A | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | 魏昕;谢小柱;胡伟;郭晓艳;谢昕;黄加福 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00 |
| 代理公司： | 广州粤高专利代理有限公司 | 代理人： | 林丽明 |
| 地址： | 510006广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明是一种绿光和紫外光激光抛光蓝宝石的复合工艺方法。包括如下步骤：1)用绿光激光扫描抛光蓝宝石晶片的表面；2)再用紫外光激光抛光绿光激光抛光过的蓝宝石晶片表面。上述绿光激光和紫外光激光为脉冲式激光。本发明由于采用先用绿光激光抛光、再用紫外光激光精密抛光的复合工艺方法，用脉冲绿光激光抛光代替传统研磨，借助激光辐射的蓝宝石表面产生的光热耦合作用，以蒸发、熔融等形式为主去除材料，并伴有微小破碎和光化学作用机制材料去除，获得微观凸峰以曲面为主的宏观上较平整表面；抛光效率高，抛光后的表面微观不平和缺陷在后续抛光加工过程中容易去除；且可降低甚至消除热对蓝宝石材料的影响，获得低表面粗糙度和亚表面损伤程度的抛光表面。 | ||
| 搜索关键词： | 光和 紫外光 激光 抛光 蓝宝石 复合 工艺 方法 | ||
【主权项】：
1、一种绿光和紫外光激光抛光蓝宝石的复合工艺方法，其特征在于包括有如下步骤：1)用绿光激光扫描抛光蓝宝石晶片的表面；2)再用紫外光激光抛光绿光激光抛光过的蓝宝石晶片的表面。
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