[发明专利]电子级高纯氢氟酸的制备方法无效
| 申请号： | 200910039518.5 | 申请日： | 2009-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN101597032A | 公开（公告）日： | 2009-12-09 |
| 发明（设计）人： | 肖定军;陈旭波;谭泽;余军文 | 申请（专利权）人： | 广东光华化学厂有限公司;广州市金华大化学试剂有限公司 |
| 主分类号： | C01B7/19 | 分类号： | C01B7/19 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 | 代理人： | 裘 晖 |
| 地址： | 515021*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电子级高纯氢氟酸的制备方法。该制备方法，包括以下步骤：(1)液体无水氯化氢的预处理；(2)液体无水氯化氢的精馏；(3)氢氟酸半成品的制备；(4)氢氟酸半成品的预处理；(5)氢氟酸半成品中金属离子的去除；(6)电子级高纯氢氟酸的获得。本发明生产工艺技术避免了无水氟化氢吸收氢氟酸再精馏的繁琐工序，直接用无水氟化氢液体进行精馏纯化；能有效的去除三氟化砷、SO2、SO3、H2SiF6等无机物种杂质；能深度去除各种金属杂质和固体颗粒物，将工业级的氢氟酸纯化精制得到超净高纯氢氟酸试剂使产品达到超净电子级氢氟酸质量符合SIME-C8标准，适用于超精密集成电路生产。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 高纯 氢氟酸 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种电子级高纯氢氟酸的制备方法，其特征在于：包括以下操作步骤：(1)液体无水氯化氢的预处理：向液体无水氟化氢中加入质量百分比浓度为2～5％的高锰酸钾溶液和质量百分比浓度为2～5％的氢氧化钠溶液，搅拌，静置；(2)液体无水氯化氢的精馏：在19～35℃的温度条件下进行精馏、纯化，得到氟化氢气体；(3)氢氟酸半成品的制备：用超纯水对步骤(2)所得氟化氢气体进行吸收，得到氢氟酸半成品；(4)氢氟酸半成品的预处理：用高分子螯合剂对步骤(3)所得氢氟酸半成品进行吸附处理；(5)氢氟酸半成品中金属离子的去除：将经过预处理的氢氟酸半成品通过混合床阴阳离子体系，去除金属离子；(6)电子级高纯氢氟酸的获得：将去除金属离子的氢氟酸半成品进行超滤处理，得到电子级高纯氢氟酸。
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