[发明专利]基片传输机构

摘要

本发明公开了一种基片传输机构，包括驱动装置、主传动装置、底板及两个次传动装置，其中，次传动装置包括轴承箱、磁传动轴、第一斜齿轮及多个相互对应的第一永磁齿轮和磁传输单元；轴承箱连接于底板上，磁传输单元呈平行的枢接于轴承箱上且具有滚轮；第一斜齿轮固定于磁传动轴上，主传动装置具有与第一斜齿轮相啮合的第二斜齿轮，且第一斜齿轮与第二斜齿轮的轴向相互垂直；第一永磁齿轮固定于磁传动轴上，磁传输单元具有与第一永磁齿轮相对应的第二永磁齿轮，第一永磁齿轮与第二永磁齿轮轴向相互垂直，第一永磁齿轮通过磁场驱动第二永磁齿轮。该基片传输机构实现基片传输过程中的低噪音和高清洁度，同时结构简单、成产成本低。

主权项

1.一种基片传输机构，包括驱动装置、主传动装置、底板及两个次传动装置，所述驱动装置与所述主传动装置连接，两个次传动装置呈平行的连接于所述底板两侧且分别与所述主传动装置连接，所述两次传动装置之间形成传送区域，所述驱动装置驱动所述主传动装置，所述主传动装置同步的驱动两所述次传动装置，其特征在于：所述次传动装置包括轴承箱、磁传动轴、第一斜齿轮及多个相互对应的第一永磁齿轮和磁传输单元，所述轴承箱连接于所述底板上，所述磁传输单元呈平行的枢接于所述轴承箱上，且所述磁传输单元具有伸入所述传送区域的滚轮；所述第一斜齿轮固定于所述磁传动轴上，所述主传动装置具有与所述第一斜齿轮相啮合的第二斜齿轮，所述第一斜齿轮与第二斜齿轮的轴向相互垂直，所述第一永磁齿轮固定于所述磁传动轴上，所述磁传输单元具有与所述第一永磁齿轮相对应的第二永磁齿轮，所述第一永磁齿轮与第二永磁齿轮轴向相互垂直，所述第一永磁齿轮通过磁场驱动所述第二永磁齿轮。