[发明专利]一种外延生长用的图形衬底及其制作方法有效
| 申请号： | 200910041035.9 | 申请日： | 2009-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN101599466A | 公开（公告）日： | 2009-12-09 |
| 发明（设计）人： | 王钢;招瑜 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | H01L23/00 | 分类号： | H01L23/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 | 代理人： | 禹小明 |
| 地址： | 510275广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体发光器件及其制作方法，尤其涉及一种外延生长用的图形衬底及其制作方法，在基板上蒸镀一层Al层；在Al层的上表面，采用阳极氧化的方法，使Al层上部一定厚度的Al转化成多孔图形的Al2O3结构；将上述结构从低温到高温渐变的分段加热方法，加热至1000℃以上且在Al2O3熔点以下的温度，直至非晶的Al2O3转变成单晶Al2O3层，最终形成蓝宝石结构层，从而自下而上形成基板/Al层/具有多孔图形的蓝宝石结构层。此图形结构衬底的制作不须经过掩膜光刻工艺；此衬底具有高反射特性，可有效释放外延层的热应力；在此衬底上外延的生长与传统蓝宝石衬底外延技术相兼容。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外延 生长 图形 衬底 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种外延生长用的图形衬底，包括基板，其特征在于：该基板上依次形成有Al层及蓝宝石结构层，该蓝宝石结构层的上表面形成有多孔图形。
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