[发明专利]一种量子阱红外焦平面阵列及其制作方法无效
| 申请号： | 200910041873.6 | 申请日： | 2009-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN101635295A | 公开（公告）日： | 2010-01-27 |
| 发明（设计）人： | 孙鲁;江灏 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | H01L25/16 | 分类号： | H01L25/16;H01L27/144;H01L21/82;H01L21/48;H01L21/60 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 | 代理人： | 禹小明 |
| 地址： | 510275广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种量子阱红外焦平面阵列，其包括衬底、置于该衬底正面的由量子阱红外探测器单元组成的量子阱红外探测器阵列、置于该衬底背面的读出电路阵列，所述量子阱红外探测器阵列和背面读出电路阵列通过上电极引线和下电极引线互联，在所述量子阱红外探测器阵列中相邻的量子阱红外探测器单元列与列之间还设有红外光反射镜台。本发明利用在量子阱红外焦平面阵列中所设计的红外光反射镜台，将垂直入射的红外光信号反射为与量子阱红外探测器单元上表面平行的红外光信号。本发明同时公开了一种量子阱红外焦平面阵列的制作方法。本发明的量子阱红外焦平面阵列采用正面入射方式实现红外光信号的探测，能有效吸收红外光信号、加工工艺简便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 量子 红外 平面 阵列 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种量子阱红外焦平面阵列，包括衬底(5)、置于该衬底(5)正面的由量子阱红外探测器单元(1)组成的量子阱红外探测器阵列(6)、置于该衬底(5)背面的和所述量子阱红外探测器单元(1)一一对应的实现探测信号读出的读出电路阵列(7)，所述量子阱红外探测器阵列(6)和读出电路阵列(7)通过上电极引线(3)和下电极引线(4)互联，其特征在于：在所述量子阱红外探测器阵列(6)中相邻的量子阱红外探测器单元(1)列与列之间还设有红外光反射镜台(2)，该红外光反射镜台(2)能将垂直入射的红外光信号反射为与所述衬底(5)平行的红外光信号，且在其上表面设有对红外光有反射性的镀层。
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