[发明专利]带自补偿网络的薄膜压力传感器芯体无效
| 申请号： | 200910042541.X | 申请日： | 2009-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN101526411A | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | 何迎辉;颜志红;谢贵久;谢峰 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | G01L9/04 | 分类号： | G01L9/04 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 | 代理人： | 马 强 |
| 地址： | 410111湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带自补偿网络的薄膜压力传感器芯体，其包括最大压应变、最大拉应变区和非应变区，其特征是在最大压应变、最大拉应变区各设一对应变电阻，由该4个应变电阻组成惠斯登全桥应变电路，在平膜片的非应变区还设有串接到惠斯登全桥应变电路的电源输入端的铂电阻。本发明专利是一种不仅可解决薄膜压力传感器应变电桥初始不平衡问题，而且可以减小零点温漂、补偿灵敏度温漂的新型芯体。 | ||
| 搜索关键词： | 补偿 网络 薄膜 压力传感器 | ||
【主权项】：
1、一种带自补偿网络的薄膜压力传感器芯体，包括最大压应变、最大拉应变区(4)和非应变区(5)，在最大压应变、最大拉应变区各设一对应变电阻(1)，由该4个应变电阻(1)组成惠斯登全桥应变电路，其特征是在弹性体的非应变区(5)还设有串接到惠斯登全桥应变电路的电源输入端的铂电阻(3)。
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