[发明专利]一种金刚石/W-C梯度结构复合涂层及其制备方法无效

专利信息
申请号: 200910042740.0 申请日: 2009-02-27
公开(公告)号: CN101487121A 公开(公告)日: 2009-07-22
发明(设计)人: 魏秋平;余志明;陈永勤;尹登峰 申请(专利权)人: 中南大学
主分类号: C23C28/00 分类号: C23C28/00;C23C16/27;C23C14/34;C23C14/16
代理公司: 长沙市融智专利事务所 代理人: 颜 勇
地址: 410083湖*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明公开了一种金刚石/W-C梯度结构复合涂层及其制备方法。该复合涂层的特征在于WC-Co硬质合金上,形成以W-C梯度结构的过渡层和以金刚石涂层为耐磨涂层的复合涂层。其制备方法是,以硬质合金为试样,在Murakami试剂中浸蚀表层WC形成富钴层,然后以纯钨作为靶材,氩气和含碳气体作为反应气体,采用反应溅射方法,通过调节含碳活性气体在反应气氛中的浓度制备不同结构的W-C梯度结构作为过渡层,以化学气相沉积技术制备金刚石耐磨涂层。本发明既解决膜/基结合强度的问题,又保证金刚石薄膜表面光洁度。
搜索关键词: 一种 金刚石 梯度 结构 复合 涂层 及其 制备 方法
【主权项】:
1、一种金刚石/W-C梯度结构复合涂层,其特征在于:包括W-C梯度结构的过渡层和金刚石耐磨层,所述过渡层由W-C层和WC-Co层组成,所述的耐磨层为金刚石薄膜;所述的W-C层为W∶C依次递增的多层W-C相,其中W∶C原子比≥1∶1。
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