[发明专利]一种钽电容器用钽壳内壁RuO2薄膜的制备方法

摘要

本发明提供了一种钽电容器用钽壳内壁RuO₂薄膜的制备方法，包括以下步骤：1)钽壳预处理：将钽壳打磨、抛光和清洗；备用；2)可旋转悬挂电极的制备：采用中空石墨电极作为阳极，中空石墨电极的壁上设有多个通孔；3)电沉积工艺：以酸性氯化钌胶体水溶液为电沉积液，将所述的中空石墨电极和钽壳分别作为阳极和阴极放入所述的电沉积液中在钽壳内壁沉积RuO₂薄膜；4)薄膜的热处理。该方法制备的RuO₂薄膜可作为电容器的阴极材料以减少阴极材料的数量，能显著减少电容器的体积，提高电容器的体积能量密度，从而使高能电容器小型化成为可能。

主权项

1.一种钽电容器用钽壳内壁RuO2薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1)钽壳预处理：将钽壳打磨、抛光和清洗；备用；2)可旋转悬挂电极的制备：采用中空石墨电极作为阳极，中空石墨电极的壁上设有多个通孔；3)电沉积工艺：以酸性氯化钌胶体水溶液为电沉积液，电沉积液中，三氯化钌浓度为0.5～5mmol/L，NaNO3浓度为0.05～0.5mol/L；将所述的中空石墨电极和钽壳分别作为阳极和阴极放入所述的电沉积液中，使中空石墨电极与钽壳内壁保持1～3mm距离；使中空石墨电极旋转，在钽壳内壁沉积RuO2薄膜，沉积过程中，电沉积液温度为25～50℃，电沉积电流密度为2～30mA/cm2；4)薄膜的热处理：将沉积好的钽壳内壁RuO2薄膜在空气气氛下进行热处理，热处理温度100～300℃，热处理后，将RuO2薄膜冷却。