[发明专利]重力补偿器有效
| 申请号： | 200910045943.5 | 申请日： | 2009-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN101477316A | 公开（公告）日： | 2009-07-08 |
| 发明（设计）人： | 方洁;齐芊枫;齐宁宁 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种重力补偿器，引入侧向浮板和水平浮板解决垂向和水平解耦问题，利用高压流体通路形成高压流体膜，提供无摩擦的解耦技术；采用的波纹管结构不仅可以通过其弹性达到垂向位移跟随作用，且材料普通、结构简单，易于设计和制造，使用寿命长；另外，通过分离式电机驱动，有效的达到了对Chuck微动台动静位移补偿的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 重力 补偿 | ||
【主权项】：
1、一种重力补偿器，用于对光刻设备中的微动台进行调平调焦和隔振，其特征在于：所述重力补偿器从上到下依次包括止推轴承、浮板、导向柱及压缩流体容器，其中，所述压缩流体容器能够充入压缩流体且在Z向具有弹性；所述浮板表面具有高压流体孔；所述导向柱连接在所述浮板与所述压缩流体容器之间以引导运动方向，并能够将所述压缩流体引导至浮板表面的高压流体孔，从而能够在所述浮板与所述止推轴承下端形成流体膜，使得所述止推轴承能够在X/Y方向运动；而所述止推轴承上端与所述微动台下端连接，且具有柔性铰链结构，能够在RX/RY方向运动。
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