[发明专利]用于微光刻的照明光学系统有效
| 申请号： | 200910046061.0 | 申请日： | 2009-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN101477317A | 公开（公告）日： | 2009-07-08 |
| 发明（设计）人： | 张祥翔 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种用于微光刻的照明光学系统，该系统包括：光源；石英棒，位于所述光源的光路上，所述光源发出的光经由所述石英棒的入射端进入并经由出射端射出；中继透镜，位于所述石英棒的出射端的射出光路上；照明场，位于所述中继透镜的出光光路上，该系统还包括步进电机带动所述石英棒进行180度旋转。本发明提供的用于微光刻的照明系统，能用简单的方法达到改变相干因子的目的，或者简化变焦透镜的设计复杂度，达到简化结构降低成本的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 微光 照明 光学系统 | ||
【主权项】：
1. 一种用于微光刻的照明光学系统，包括：光源；石英棒，位于所述光源的光路上，所述光源发出的光经由所述石英棒的入射端进入并经由出射端射出；中继透镜，位于所述石英棒的出射端的射出光路上；照明场，位于所述中继透镜的出光光路上；其特征在于所述石英棒的入射端和出射端具有不同的口径。
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