[发明专利]位置测量装置和位置测量方法有效
| 申请号： | 200910046063.X | 申请日： | 2009-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN101482395A | 公开（公告）日： | 2009-07-15 |
| 发明（设计）人： | 单世宝;杨志勇;齐芊枫 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种位置测量装置，用以测量工件台的六自由度位置。该装置沿光路依次包括光源、分光镜组、光开关执行器系统、测量反射镜组和二维位置测量传感器。光源发射出入射光；分光镜组，将该入射光分为沿三个测量光路的光束；光开关执行器系统，电性连接至开关控制器，该开关控制器控制该光开关执行器系统依次开关三个测量光路；测量反射镜组；二维位置测量传感器，接收测量反射镜组反射的三个测量光路的光束。本发明提供的位置测量装置只包含一个二维位置测量传感器，可以显著降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 位置 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
1. 一种位置测量装置，用以测量工件台的六自由度位置，其特征是，沿光路依次包括：光源，发射出入射光；分光镜组，将上述入射光分为沿三个测量光路的光束；光开关执行器系统，电性连接至开关控制器，上述开关控制器控制上述光开关执行器系统依次开关三个测量光路；测量反射镜组；以及二维位置测量传感器，接收测量反射镜组反射的三个测量光路的光束。
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