[发明专利]减少测量点数的平面度评定方法无效
申请号: | 200910046279.6 | 申请日: | 2009-02-18 |
公开(公告)号: | CN101493321A | 公开(公告)日: | 2009-07-29 |
发明(设计)人: | 李郝林;王雪妮 | 申请(专利权)人: | 上海理工大学 |
主分类号: | G01B21/30 | 分类号: | G01B21/30 |
代理公司: | 上海申汇专利代理有限公司 | 代理人: | 吴宝根 |
地址: | 200093*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种减少测量点数的平面度评定方法,具体步骤是:按照现有的平面度测量方法,测量平面上若干个点位置上的平面误差值;根据这些有限的测量点值,通过最大熵方法,估计被测平面误差的概率分布;根据所估计的概率分布,在被测平面的其它位置上,产生测量点间平面误差的估计值,即对测量点进行插值;利用最小包容区域法、最小二乘法或对角线法的平面度误差评定方法,由平面度误差的测量值与插值位置平面误差的估计值,评定平面度误差;根据概率与统计理论和插值位置上多次估计值,分别计算平面度误差,并取这些计算结果的平均值作为最终的平面度误差评定值。本发明以最大熵方法为基础,利用有限的测量数据样本,确定被测平面误差的概率分布。 | ||
搜索关键词: | 减少 测量 点数 平面 评定 方法 | ||
【主权项】:
1.一种减少测量点数的平面度评定方法,其特征在于,具体步骤是:(1)按照现有的平面度测量方法,测量平面上若干个点位置上的平面误差值;(2)根据这些有限的测量点值,通过最大熵方法,估计被测平面误差的概率分布;(3)根据所估计的概率分布,在被测平面的其它位置上,产生测量点间平面误差的估计值,即对测量点进行插值;(4)利用最小包容区域法、最小二乘法或对角线法的平面度误差评定方法,由平面度误差的测量值与插值位置平面误差的估计值,评定平面度误差;(5)根据概率与统计理论和插值位置上多次估计值,分别计算平面度误差,并取这些计算结果的平均值作为最终的平面度误差评定值。
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