[发明专利]射频发生器测试方法及设备有效
| 申请号： | 200910047949.6 | 申请日： | 2009-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN101839951A | 公开（公告）日： | 2010-09-22 |
| 发明（设计）人： | 黄国伟 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供射频发生器测试方法及设备，以在离线条件下实现对射频发生器的检测，避免了使用有故障的射频发生器而可能对使用者带来各类损失。该方法包括：将射频发生器与负载连接；向连接有所述负载的射频发生器输入直流电压信号；获得该射频发生器基于所述直流电压信号生成的电磁波的功率；比较获得的所述功率与预期功率是否相等，并在不相等时，确定该射频发生器有故障，所述预期功率为无故障的射频发生器基于该直流电压信号生成的电磁波的功率。 | ||
| 搜索关键词： | 射频 发生器 测试 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种射频发生器测试方法，其特征在于，包括：将射频发生器与负载连接；向连接有所述负载的射频发生器输入直流电压信号；获得该射频发生器基于所述直流电压信号生成的电磁波的功率；比较获得的所述功率与预期功率是否相等，并在不相等时，确定该射频发生器有故障，所述预期功率为无故障的射频发生器基于该直流电压信号应当生成的电磁波的功率。
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