[发明专利]热光型红外探测器及其制作方法有效
| 申请号： | 200910049388.3 | 申请日： | 2009-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN101566502A | 公开（公告）日： | 2009-10-28 |
| 发明（设计）人： | 冯飞;闫许;熊斌;王跃林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01J5/00 | 分类号： | G01J5/00;B81B7/02;B81C5/00;B81C1/00;B81C3/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种热光型红外探测器及制作方法，其特征在于所述的红外探测器由硅衬底，制作于硅衬底之上的像素阵列，以及和硅衬底相键合的玻璃构成，或者由硅衬底，制作于硅衬底之上的像素阵列，与硅衬底相键合的玻璃以及和硅衬底相粘接的红外滤光片构成。在所述的TO-IRD中，采用特殊的隔热柱结构和工艺设计，制作出具有较高高度、站立于硅衬底上的隔热柱，提高TO-IRD的隔热性能；在像素膜系结构中，通过设计和制作专门的红外吸收层，提高TO-IRD对红外辐射的吸收率，且不影响它对读出光的调制功能；采用硅玻璃键合或在真空中粘接红外滤光片，实现器件的真空封装。 | ||
| 搜索关键词： | 热光型 红外探测器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种热光型红外探测器，其特征在于所述的热光型红外探测器为下述结构中的任一种：a).所述的红外探测器是由硅衬底，制作于硅衬底之上的像素阵列，以及和硅衬底相键合的玻璃构成；b).或者是由硅衬底，制作于硅衬底之上的像素阵列，与硅衬底相键合的玻璃以及和硅衬底相粘接的红外滤光片构成其中，像素阵列中的每个像素是由隔热柱和多层介质膜组成，隔热柱站立于硅衬底之上，隐匿于多层介质膜之下，对多层介质膜起支撑作用；所述的多层介质膜是由红外吸收层，两个DBR以及夹在两个DBR中间的热可调谐腔构成；所述的DBR为分布式布拉格反射镜面的英文缩写。
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