[发明专利]晶棒装卸装置

摘要

晶棒装卸装置，包括堆高机，堆高机设置一控制台，所述堆高机连接一晶棒夹取装置，晶棒夹取装置包括：总支撑座设置与堆高机连接的接口；一使晶棒旋转的马达设置于总支撑座上，马达连接一控制晶棒翻转的蜗轮蜗杆减速器，蜗轮蜗杆减速器通过链条连接一轴向张紧的手轮；一与蜗轮蜗杆减速器的旋转轴连接一晶棒支座；晶棒支座上设置一控制张紧手臂张开和收缩的齿轮减速器；晶棒支座的两端连接伸缩管；一伸缩管的末端连接支撑板，另一伸缩管的末端连接支撑板；蜗轮蜗杆减速器为空心轴结构，蜗轮蜗杆减速器通过其内部的旋转轴与连接轴连接，连接轴设置与齿轮减速器连接。本发明节省时间，操作简单；电动搬运或移动，节省人力，并且安全、可靠。

主权项

1、晶棒装卸装置，包括堆高机，堆高机设置一控制台，其特征在于，所述堆高机连接一晶棒夹取装置，所述晶棒夹取装置包括：一起支撑作用的总支撑座，总支撑座设置与堆高机连接的接口；一使晶棒旋转的马达设置于总支撑座上，所述马达连接一控制晶棒翻转的蜗轮蜗杆减速器，所述蜗轮蜗杆减速器通过链条连接一轴向张紧的手轮；一与蜗轮蜗杆减速器的旋转轴连接一晶棒支座；所述晶棒支座上设置一控制张紧手臂张开和收缩的齿轮减速器；所述齿轮减速器通过丝杆与伸缩管连接；所述晶棒支座的两端连接伸缩管；一伸缩管的末端连接支撑板，另一伸缩管的末端连接支撑板；蜗轮蜗杆减速器为空心轴结构，蜗轮蜗杆减速器通过其内部的旋转轴与连接轴连接，连接轴设置与齿轮减速器连接；所述晶棒支座上设置用来夹取晶棒的张紧手臂；所述张紧手臂设置为两个环抱晶棒的手臂状。