[发明专利]基于电热电磁驱动的双向双稳态微驱动器无效
| 申请号： | 200910049872.6 | 申请日： | 2009-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN101544347A | 公开（公告）日： | 2009-09-30 |
| 发明（设计）人： | 丁桂甫;吴义伯;张丛春;王娟;张小波;王亚攀 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机电系统技术领域的基于电热电磁驱动的双向双稳态微驱动器，包括：永磁体、衬底、电热电磁驱动单元、双向运动梁单元、机械锁定单元和电接触单元，其中：永磁体位于衬底下方，并与衬底紧密相连；电热电磁驱动单元、双向运动梁单元、机械锁定单元和电接触单元分别位于衬底上方，双向运动梁单元与电热电磁驱动单元相连，构成一个悬空自由运动的可动梁；一对机械锁定单元对称分布于双向运动梁单元与电热电磁驱动单元的左右两边；一对电接触单元对称分布于双向运动梁单元的左右两端。本发明工艺简单，不仅充分体现了MEMS技术与灵巧机械结构的完美结合，而且合理利用了电热电磁力的协调互助作用，实现了无功耗的双稳态机制。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 电热 电磁 驱动 双向 双稳态 驱动器 | ||
【主权项】：
1、一种基于电热电磁驱动的双向双稳态微驱动器机构，其特征在于包括：永磁体、衬底、电热电磁驱动单元、双向运动梁单元、机械锁定单元和电接触单元，其中：永磁体位于衬底下方，并与衬底紧密相连；电热电磁驱动单元、双向运动梁单元、机械锁定单元和电接触单元分别位于衬底上方，双向运动梁单元与电热电磁驱动单元相连，构成一个悬空自由运动的可动梁；一对机械锁定单元对称分布于双向运动梁单元与电热电磁驱动单元的左右两边；一对电接触单元对称分布于双向运动梁单元的左右两端。
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