[发明专利]产品投放方法及系统无效
| 申请号： | 200910050411.0 | 申请日： | 2009-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN101877322A | 公开（公告）日： | 2010-11-03 |
| 发明（设计）人： | 许磊;叶俊;冯亮;潘春芳;陈一鸣;魏骋 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/00;G05B19/418 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供产品投放方法及系统，以防止投放进入生产线的产品在机台前的停留时间超过允许等待时间而导致产品缺陷，降低产品良率等问题。本发明提供的产品投放方法，该方法包括步骤：确定出下一个休憩机台前将要处理该产品的各个机台；获得所述各机台对应的该产品允许等待时间、到达时间及初始处理时间；对于各机台，分别判断初始处理时间是否小于到达时间与允许等待时间之和；在各机台的判断结果均为小于时，投放该产品，否则禁止投放该产品。 | ||
| 搜索关键词： | 产品 投放 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种产品投放方法，其特征在于，包括：确定出下一个休憩机台前将要处理该产品的各个机台；获得所述各机台对应的该产品允许等待时间、到达时间及初始处理时间；对于各机台，分别判断初始处理时间是否小于到达时间与允许等待时间之和；在各机台的判断结果均为小于时，投放该产品，否则禁止投放该产品。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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