[发明专利]静电微电机

摘要

本发明提出一种静电微电机包括转子和定子。转子包括一段薄壁圆柱和一段空心圆柱，转子的材料为金属。转子与定子同轴并包覆定子，二者之间具有空气层。定子包括大于两个的偶数个互相绝缘的金属导体，这些金属导体以定子的轴线为中心对称。定子的外表面具有电介质层。其中顺序地在一组相对的金属导体上加极性相反大小相等的电压，定子和转子之间产生静电场，转子在静电场的电场力的作用下发生变形，随着电场方向的转变，转子跟随电场旋转方向缓慢转动。本发明所揭露的微电机采用了径向和轴向磁浮轴承，微电机的轴运转平稳、无机械摩擦。利用了谐波传动原理，输出转速低、扭矩大，能够满足微小角度的旋转，可以用于光刻装置中元件位置的微调整操作。

主权项

1.一种静电微电机，其特征是，包括：转子，包括一段薄壁圆柱和一段空心圆柱，所述转子的材料为金属；以及定子，与所述转子同轴并被包覆于所述转子之内，所述定子和所述转子之间具有空气层，所述定子包括大于两个的偶数个互相绝缘的金属导体，这些金属导体以定子的轴线为中心对称，所述定子的外表面具有电介质层，其中，分别顺序地在一组相对的金属导体上加极性相反大小相等的电压，所述定子和所述转子之间产生静电场，所述转子在所述静电场的电场力的作用下发生变形，随着所述静电场方向的转变，所述转子跟随电场旋转方向而缓慢转动。