[发明专利]表面横波压力和温度传感器有效
| 申请号： | 200910051176.9 | 申请日： | 2009-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN101551283A | 公开（公告）日： | 2009-10-07 |
| 发明（设计）人： | 韩韬;林江 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;G01L9/00;G01K11/26 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种表面横波压力和温度传感器，包括玻璃膜片、玻璃圆环、石英晶体悬臂梁、谐振式声表面横波力敏元件、石英晶体片和谐振式声表面横波温敏元件，金属底座上设有玻璃圆环，玻璃圆环与金属底座的压力入口同心，玻璃圆环上设置玻璃膜片，玻璃膜片的上表面共有三枚突起结构，在一枚边缘凸起和中间凸起上载有石英晶体悬臂梁，中间凸起与石英晶体悬臂梁的距离为零，石英晶体悬臂梁的上表面光刻有谐振式声表面横波力敏元件，在另一枚边缘凸起上载有石英晶体片，该晶体片上光刻有谐振式声表面横波温敏元件，缩小了传感器体积，降低结合力和热应力对压力传感器的影响，增大传感器耐机械振动和冲击的能力及耐疲劳特性，改善稳定性和一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 压力 温度传感器 | ||
【主权项】：
1、一种表面横波压力和温度传感器，其特征在于，包括金属底座、管帽、玻璃膜片、玻璃圆环、石英晶体悬臂梁、谐振式声表面横波力敏元件、石英晶体片和谐振式声表面横波温敏元件，金属底座上设有玻璃圆环，玻璃圆环与金属底座的压力入口同心，玻璃圆环上设置玻璃膜片，玻璃膜片的上表面共有三枚突起结构，在一枚边缘凸起和中间凸起上载有石英晶体悬臂梁，中间凸起与石英晶体悬臂梁的距离为零，石英晶体悬臂梁的上表面光刻有谐振式声表面横波力敏元件，在另一枚边缘凸起上载有石英晶体片，该晶体片上光刻有谐振式声表面横波温敏元件，金属底座、管帽、玻璃圆环和玻璃膜片构成了一个气密性容器。
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