[发明专利]利用飞秒激光制备均匀三维纳米流体通道的方法无效
| 申请号： | 200910051787.3 | 申请日： | 2009-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN101549852A | 公开（公告）日： | 2009-10-07 |
| 发明（设计）人： | 程亚;何飞;孙海轶;徐至展 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种利用飞秒激光制备均匀三维纳米流体通道的方法，包括对透明材料飞秒激光辐照、化学腐蚀和热拉等步骤，经本发明方法制备的三维纳米流体通道具有通道的纵向形貌均一、通道的横截面型较圆、通道的内壁光洁度高和通道内径小到纳米量级等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 激光 制备 均匀 三维 纳米 流体 通道 方法 | ||
【主权项】：
1、一种利用飞秒激光制备均匀三维纳米流体通道的方法，特征在于包括下列步骤：(1)飞秒激光辐照：将透明材料样品固定在一台可编程三维位移平台上，通过显微物镜将飞秒激光聚焦在所述的透明材料样品上，按编程驱动所述的可编程三维位移平台运动的同时，启动所述的飞秒激光光束对所述的透明材料样品进行辐照，在所述的透明材料样品中写入需要的三维纳米流体通道图形；(2)化学腐蚀：然后将飞秒激光辐照后的透明材料样品放入HF溶液或KOH溶液中，对所述的三维图形进行化学腐蚀，以得到具有三维纳米流体通道的三维空心结构的透明材料样品；(3)热拉：将具有三维纳米流体通道的三维空心结构的透明材料样品的两端分别固定在两个一维电动平移台上，并使三维纳米流体通道的轴向平行于所述的一维电动平移台的移动方向；将氢氧焰对准透明材料样品的三维纳米流体通道的三维空心结构区域进行加热，当所适合的透明材料样品达到软化温度后，启动所述的一维电动平移台开始拉伸，边加热边拉伸，直至达到所需微通道尺寸。
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