[发明专利]减振支撑装置及采用该减振支撑装置的光刻机有效
| 申请号： | 200910053600.3 | 申请日： | 2009-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN101581347A | 公开（公告）日： | 2009-11-18 |
| 发明（设计）人： | 周宏权;袁志扬 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F16F15/023 | 分类号： | F16F15/023;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王 洁 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种减振支撑装置及采用该减振支撑装置的光刻机。该减振支撑装置包括支撑板、与该支撑板相对设置的气浮块、主气缸，该支撑板包括基板、设置在该基板四周的侧壁和设置在该基板中心位置的导向孔，该气浮块包括挡板、设置在该挡板四周的侧壁和设置在该挡板中心位置的导向杆，该导向杆和该导向孔相配合形成一静压空气轴承，该支撑板的侧壁和该气浮块的侧壁通过波纹管密封连接，该支撑板、该气浮块、该波纹管和该主气缸所围空间内充满压力气体，形成一空气弹簧。本发明中装配在光刻机下的减振支撑装置不会产生旋转运动、制造成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑 装置 采用 光刻 | ||
【主权项】：
1.一种减振支撑装置，其特征在于，该减振支撑装置包括支撑板、与该支撑板相对设置的气浮块、主气缸，该支撑板包括基板、设置在该基板四周的侧壁和设置在该基板中心位置的导向孔，该气浮块包括挡板、设置在该挡板四周的侧壁和设置在该挡板中心位置的导向杆，该导向杆和该导向孔相配合形成一静压空气轴承，该支撑板的侧壁和该气浮块的侧壁通过波纹管密封连接，该支撑板、该气浮块、该波纹管和该主气缸所围空间内充满压力气体，形成一空气弹簧。
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