[发明专利]高温液相加热晶化方法及装备有效
| 申请号： | 200910053887.X | 申请日： | 2009-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN101591804A | 公开（公告）日： | 2009-12-02 |
| 发明（设计）人： | 张志林;张建华;张浩;蒋雪茵;张良;俞东斌;李俊;张小文 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | C30B28/02 | 分类号： | C30B28/02;C30B33/02;H01L21/324;H01L21/477;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海上大专利事务所（普通合伙） | 代理人： | 何文欣 |
| 地址： | 200444*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高温液相加热晶化方法及装备。本装备有一可盛高温金属液体的槽，在该槽内盛有高温的金属或非金属液体，在此液体中还可以插入一高温区，在高温金属或非金属液体上面有包括需要晶化的衬底，衬底上面有需要晶化的非晶薄膜组成的基板，该基板有一个推动系统推动可连续晶化该非晶膜。本方法是将基板放在槽内并浮在高温液面上面，在真空或惰性气体或还原气体下加热至500度到1000度，在1分钟到20小时之间进行晶化，然后降温至250度到300度，取出基板。本发明能保持基板的平整度、不变形，受热均匀，传热效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 高温 相加 热晶化 方法 装备 | ||
【主权项】：
1、一种高温液相加热晶化方法，其特征在于将需要晶化的由非晶薄膜(3)和衬底(4)组成的基板(2)放在一个盛高温液体的槽(5)中，并浮在该槽(5)内盛有的高温金属或非金属液体(1)上面，该系统整个置于高真空或惰性气氛或还原气氛下由加热器(6)加热槽(5)内的金属或非金属液体(1)使之达到摄氏500度到1000度之间，在1分钟到20小时之间进行晶化，然后降温到摄氏250度到300度之间，取出基板(2)。
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