[发明专利]晶圆表面粗糙度检测方法有效
| 申请号： | 200910055374.2 | 申请日： | 2009-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN101650170A | 公开（公告）日： | 2010-02-17 |
| 发明（设计）人： | 刘玮荪;杨建军;周侃;孔令芬 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人： | 郑 玮 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶圆表面粗糙度检测方法，包括如下步骤：从同一批次的晶圆中挑选出至少三个不同粗糙度的晶圆作为样品；将每个所述样品放到粗糙度测试仪下进行检测，得出各自的粗糙度；将每个所述样品放到光学检测仪下进行检测，得出各自的反光度；建立所述粗糙度和所述反光度之间的关系式；将同一批次的晶圆逐个通过光学检测仪进行检测，得出每个所述晶圆的反光度，根据所述关系式，得出每个所述晶圆的粗糙度。本发明能够对晶圆表面的粗糙度进行实时的检测，有利于提高晶圆的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 粗糙 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆表面粗糙度检测方法，其特征在于包括如下步骤：从同一批次的晶圆中挑选出至少三个不同粗糙度的晶圆作为样品；将每个所述样品放到粗糙度测试仪下进行检测，得出各自的粗糙度；将每个所述样品放到光学检测仪下进行检测，得出各自的反光度；建立所述粗糙度和所述反光度之间的关系式；将同一批次的晶圆逐个通过光学检测仪进行检测，得出每个所述晶圆的反光度，根据所述关系式，得出每个所述晶圆的粗糙度。
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