[发明专利]电子封装用镀钨SiC颗粒增强铜基复合材料的制备方法无效
申请号: | 200910055976.8 | 申请日: | 2009-08-06 |
公开(公告)号: | CN101624665A | 公开(公告)日: | 2010-01-13 |
发明(设计)人: | 顾明元;甘可可 | 申请(专利权)人: | 上海交通大学 |
主分类号: | C22C1/05 | 分类号: | C22C1/05;C22C1/10;H01L21/60 |
代理公司: | 上海交达专利事务所 | 代理人: | 毛翠莹 |
地址: | 200240*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开一种电子封装用镀钨SiC颗粒增强铜基复合材料的制备方法,原料的组分及体积百分比含量为:镀钨SiC颗粒50%-75%,添加元素0.5%-3%,Cu基体22%-49.5%;其中所述添加元素为Fe、Co、Ni中的一种或几种。复合材料采用混粉、压制、熔渗和复压工艺制备,其中所述Cu基体分为Cu金属粉末及Cu金属块,分别在压制坯料前后加入。本发明采用表面镀钨的SiC颗粒及添加了合金元素,极大改善了物相之间相互的润湿性,因此所制备的材料具有优良的导热率、热膨胀系数和力学性能;所采用的液相熔渗方法具有操作简单、成本低廉、材料致密度高和适合规模化生产的优势。 | ||
搜索关键词: | 电子 封装 用镀钨 sic 颗粒 增强 复合材料 制备 方法 | ||
【主权项】:
1、一种电子封装用镀钨SiC颗粒增强铜基复合材料的制备方法,其特征在于包括以下步骤:1)原料的的组分及体积百分比为:镀钨SiC颗粒50-75%,添加元素0.5-3%,Cu基体22-49.5%;所述添加元素为Fe、Co、Ni中的一种或几种;所述Cu基体中,Cu金属粉末为原料总体积百分比的10-20%,其余为Cu金属块;2)将Cu金属粉末、添加元素粉末及镀钨SiC颗粒混粉,混粉时间为1-20小时,混粉转速为30-100转/分钟;3)在50MPa-150MPa压强下,将混粉后的粉末压制成坯料;4)将Cu金属块与压制成型的坯料在熔渗炉中进行熔渗;熔渗温度为1100-1350℃,熔渗气氛为氢气气氛;熔渗速度为2-5min/mm,熔渗时间=熔渗速度×所制备的复合材料厚度;5)对熔渗完成后的样品进行复压,复压压强为100-500MPa,复压时间为10秒-1分钟;制得电子封装用镀钨SiC颗粒增强铜基复合材料。
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