[发明专利]容器有效
| 申请号： | 200910056281.1 | 申请日： | 2009-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN101996838A | 公开（公告）日： | 2011-03-30 |
| 发明（设计）人： | 许鹖 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/16 | 分类号： | H01J37/16;H01J37/317;H01L21/265;C23C14/48 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭露了一种容器，所述容器包括主体、盖体以及驱动装置，所述主体包括壳体以及用于存储物质的腔室，所述盖体包括通过轴销与壳体连接并贴合壳体内表面的第一盖和第二盖，所述驱动装置设置于壳体的外部并与所述第一盖和第二盖连接，当所述盖体处于闭合状态时，所述第一盖的边缘和第二盖的边缘部分重叠，当需要打开盖体时，所述第一盖和第二盖在所述驱动装置的驱动下绕所述轴销旋转，使得所述第一盖和第二盖相对错开形成缝隙，所述物质可从所述缝隙流出。本发明使用方便，可避免源材料泄露到腔室外部而影响蒸发装置的洁净度，保障操作人员的人身安全，还可精确的控制填入到坩锅内的源材料数量，并防止源材料潮解。 | ||
| 搜索关键词： | 容器 | ||
【主权项】：
一种容器，包括：主体，其包括壳体以及由所述壳体限定的存储物质的腔室；盖体，其包括通过轴销与所述壳体连接并贴合所述壳体内表面的第一盖和第二盖；驱动装置，设置于所述壳体的外部，并与所述第一盖和第二盖连接；其中，所述盖体处于闭合状态时，所述第一盖的边缘和所述第二盖的边缘部分重叠，当需打开所述盖体时，所述第一盖和所述第二盖在所述驱动装置的驱动下绕所述轴销旋转，使所述第一盖和所述第二盖相对错开形成缝隙，所述物质自所述缝隙流出。
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