[发明专利]多孔氧化铝膜湿敏传感器的制备方法

摘要

一种传感器技术领域的多孔氧化铝膜湿敏传感器的制备方法，包括：配制混合电解液；将铝片进行溶剂浸泡处理后采用强氧化抛光液在恒压条件下进行电化学抛光；将圆形铝片进行腐蚀处理后，经去膜处理后进行二次腐蚀处理；将若干多孔氧化铝膜置于磷酸溶液中分别进行化学浸蚀处理，得到若干不同孔径结构的氧化铝膜；在不同孔径结构的氧化铝膜的正面溅射Au膜，通过两根细铜丝分别引出两个电极，制成多孔氧化铝膜湿敏传感器。本发明利用在高场下的磷酸溶液中制备多孔氧化铝膜，缩短了湿敏传感器响应回复时间，在一定湿度区域的灵敏度得到大大提高。这为获得高性能氧化铝湿敏传感器提供了一种有效的方法。

主权项

1、一种多孔氧化铝膜湿敏传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步、配制H3PO4-H2O-C2H5OH混合电解液；第二步、将圆形铝片进行溶剂浸泡处理后，用棉球将其表面擦拭干净，并用去离子水冲洗，最后采用强氧化抛光液在恒压条件下进行电化学抛光；第三步、将装有混合电解液的大烧杯置于低温恒温槽中并对电解液降温搅拌处理，在阳极氧化电压为195V下对电化学抛光后的圆形铝片进行一次腐蚀3分钟，然后取出圆形铝片，经去膜处理后再次进行二次腐蚀2分钟，制成多孔氧化铝膜；第四步、将若干多孔氧化铝膜置于磷酸溶液中进行化学浸蚀处理，时间分别设置为15min、30min和40min，由此得到若干不同孔径结构的氧化铝膜；第五步、在不同孔径结构的氧化铝膜的正面溅射Au膜作为湿敏元件的一个电极，该氧化铝膜的反面即为另一电极，通过细铜丝分别引出两个电极，多孔氧化铝膜湿敏传感器制备完成。