[发明专利]一种Al2O3/TiO2复合介质膜铝电极箔的制备方法有效
| 申请号： | 200910060068.8 | 申请日： | 2009-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN101651046A | 公开（公告）日： | 2010-02-17 |
| 发明（设计）人： | 冯哲圣;梁孜;陈金菊 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01G9/04 | 分类号： | H01G9/04;H01G9/045;H01G9/055;C25D11/04;C25D9/12 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 | 代理人： | 葛启函 |
| 地址： | 611731四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种Al2O3/TiO2复合介质膜铝电极箔的制备方法，属于电子材料技术领域。本发明采用阴极电化学沉积技术，通过惰性金属阳极以及可溶性钛盐溶液体系，在铝腐蚀箔表面沉积TiO3(H2O)x；然后经温控热处理，使TiO3(H2O)x分解得到锐钛矿型TiO2纳米高介氧化膜；最后通过常规阻挡型铝阳极氧化技术，在铝腐蚀箔表面制备高介电常数的Al2O3/TiO2复合介质膜，从而得到Al2O3/TiO2复合介质膜铝电极箔。本方法所制备的铝电极箔，其表面复合介质膜在厚度与传统介质膜厚度相同的情况下，具有更高的介电常数，可有效提高铝电极箔的电容水平。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 al sub tio 复合 介质 电极 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种Al2O3/TiO2复合介质膜铝电极箔的制备方法，包括以下步骤：步骤1：配制TiCl4和H2O2的混合电解液。首先将TiCl4溶于醇类有机溶剂和去离子水的混合溶剂中，然后滴加H2O2水溶液，直至得到颜色范围在橙黄色至棕红色之间的溶液；步骤2：将惰性金属和铝腐蚀箔浸渍于步骤1所得的电解液中，以惰性金属为正极，铝腐蚀箔为负极，进行阴极电化学沉积，在铝腐蚀箔表面沉积得到TiO3(H2O)x；步骤3：采用去离子水清洗步骤2所得的表面沉积有TiO3(H2O)x的铝腐蚀箔；步骤4：对步骤3清洗后的表面沉积有TiO3(H2O)x的铝腐蚀箔进行温控热处理，使沉积于铝腐蚀箔表面的TiO3(H2O)x经过退火脱水得到TiO2，从而在铝腐蚀箔表面得到TiO2的纳米氧化膜；步骤5：对步骤4所得的表面具有TiO2纳米氧化膜的铝腐蚀箔进行阳极氧化，得到具有Al2O3/TiO2复合介质膜的铝电极箔。
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