[发明专利]一种带制冷器的微型气体富集器及其使用方法有效
| 申请号： | 200910060102.1 | 申请日： | 2009-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN101607167A | 公开（公告）日： | 2009-12-23 |
| 发明（设计）人： | 杜晓松;蒋亚东;夏乐洋;胡佳 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | B01D53/02 | 分类号： | B01D53/02;G01N30/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610054四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带制冷器的微型气体富集器，包括一个膜片型的气体富集器和一个半导体制冷片，所述膜片型气体富集器由一个硅基板、一个玻璃顶盖、进气口、出气口和设置在硅基板和玻璃顶盖之间的富集区构成，所述富集区由一个或多个富集单元构成，每个富集单元具有一个悬空膜片以及设置在悬空膜片上方的薄膜加热器和吸附薄膜，所述半导体制冷片设置在膜片型气体富集器的下方，并不与悬空膜片直接接触，而由空气腔间隔，所述空气腔由硅基板、悬空膜片和半导体制冷片围成。本发明的微型气体富集器，不仅保持了膜片型富集器热容量小，加热速率快的优势，而且增加了制冷功能，使得气体的吸附可以在室温以下进行，吸附的气体更多，从而提高了富集效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制冷 微型 气体 富集 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
1、一种带制冷器的微型气体富集器，包括一个膜片型的气体富集器和一个半导体制冷片，所述膜片型气体富集器由一个硅基板、一个玻璃顶盖、进气口、出气口和设置在硅基板和玻璃顶盖之间的富集区构成，所述富集区由一个或多个富集单元构成，每个富集单元具有一个悬空膜片以及设置在悬空膜片上方的薄膜加热器和吸附薄膜，其特征在于，所述半导体制冷片设置在膜片型气体富集器的下方，并不与悬空膜片直接接触，而由空气腔间隔，所述空气腔由硅基板、悬空膜片和半导体制冷片围成。
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