[发明专利]一种二氧化钛介孔薄膜紫外光电探测原型器件的制作方法

摘要

本发明提供了一种二氧化钛介孔薄膜紫外光电探测原型器件的制作方法，其步骤主要包括制备溶胶、将陈化、煅烧制备TiO₂介孔薄膜、镀钼电极，最终得到二氧化钛介孔薄膜紫外光电探测原型器件。本发明方法制备的TiO₂介孔薄膜紫外光电探测原型器件结构较简单，对紫外线有很好的光电响应性能，本发明还具有可控程度高、制作较简单、易于操作、重复性好的特点，可形成规模化生产。

主权项

1、一种二氧化钛介孔薄膜紫外光电探测原型器件的制作方法，其特征在于采用以下步骤制备：(1)将质量比例为1∶0.003～0.008∶20～80的四氯化钛、嵌段式聚醚F-127和无水乙醇加至烧瓶中混合，在冰水浴中搅拌反应10～20分钟，然后撤掉冰水浴，向烧瓶中加入0.6～3.6ml蒸馏水，常温下搅拌反应4～6小时即成溶胶；(2)将洁净的玻璃基底浸入步骤(1)制得的溶胶中，再缓慢提拉玻璃基底，使玻璃基底的表面覆盖有溶胶，将覆盖有溶胶的玻璃基底置于密闭容器内陈化24～120小时，然后将陈化后的玻璃基底在空气中煅烧，煅烧时以1～2℃/min的升温速率升温至300～450℃，保温4～6h，自然冷却到室温，得到透明的TiO2介孔薄膜；(3)采用真空溅射的方式在TiO2介孔薄膜一面镀两个间隔1～3mm的钼电极，得到二氧化钛介孔薄膜紫外光电探测原型器件。