[发明专利]一种三氯氢硅生产过程中伴生气体的处理工艺无效
| 申请号： | 200910066036.9 | 申请日： | 2009-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN101633504A | 公开（公告）日： | 2010-01-27 |
| 发明（设计）人： | 杨海建;张扬;马麟;李占青 | 申请（专利权）人： | 洛阳世纪新源硅业科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107;B01D50/00;B01D53/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 471333河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种三氯氢硅生产过程中伴生气体的处理工艺，是由除尘、淋洗、沉淀、气体分离、吸收、废气处理等步骤组成。本发明提供的技术方案净化了废弃的排放，减少了对空气的污染，对废弃物进行了回收利用，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三氯氢硅 生产过程 伴生 气体 处理 工艺 | ||
【主权项】：
1、一种三氯氢硅生产过程中伴生气体的处理工艺，其特征在于：①气体分离：将淋洗后的伴生气体进行冷冻分离，然后用压缩机进行压缩冷冻分离后的气体，最后氢气进入到筒状冷氢化炉中；②废气处理：经过吸收后的气体送入废气处理塔中，用碱液净化气体，净化的气体经阻火器排空，被吸收的液体进入到废液处理池中。
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