[发明专利]一种检测掠射筒状离轴非球面镜的多光束长轨干涉仪

摘要

一种检测掠射筒状离轴非球面镜的多光束长轨干涉仪，属于光学检测技术领域中的检测设备。要解决的技术问题：提供一种检测掠射筒状离轴非球面镜的多光束长轨干涉仪，技术方案：包括激光光源、起偏器、多光束分光器、光阑、偏振分光镜、1/4波片、五棱镜、待测筒状非球面镜、傅里叶变换透镜、CCD相机等。在激光光源的光轴上，依次放置起偏器、直角棱镜、多光束分光器、光阑、半波片、偏振分光镜、第二1/4波片、参考平面镜；偏振分光镜的分光面与光轴45度，右边依次放置傅里叶透镜、CCD相机；左边光路上依次放置第一1/4波片、第一、二五棱镜，第二五棱镜的出射面正对待测筒状非球面镜的内表面；待测筒状非球面镜放置在旋转平台上。

主权项

1、一种检测掠射筒状离轴非球面镜的多光束长轨干涉仪，包括：激光光源(18)、起偏器(19)、半波片(23)、偏振分光镜(24)、第一1/4波片(25)、第一五棱镜(26)、第二五棱镜(27)、待测筒状非球面镜(28)、旋转平台(29)、第二1/4波片(30)、参考平面镜(31)、傅里叶变换透镜(32)、CCD相机(33)；其特征在于还包括：直角棱镜(20)、多光束分光器(21)、光阑(22)；在激光光源(18)的光传播方向上，在光轴上依次放置起偏器(19)、直角棱镜(20)，直角棱镜(20)一直角面与光轴垂直，斜面与光轴成45度夹角；在直角棱镜(20)反射光的光轴上依次置有多光束分光器(21)、光阑(22)、半波片(23)、偏振分光镜(24)、第1/4波片(30)、参考平面镜(31)；多光束分光器(21)由两块梯形棱镜组成，梯形斜边与底边的夹角在85～87度之间，两个梯形棱镜的斜面为工作面，两斜面保持严格平行且中间有一约1mm左右空隙，在多光束分光器(21)下面的光阑(22)和半波片(23)的工作面与光轴垂直，偏振分光镜(24)的分光面与光轴45度放置，以偏振分光镜(24)为中心，右边依次放置傅里叶透镜(30)、CCD相机(33)，CCD相机(33)放置在傅里叶变换透镜(32)的焦面上，用于干涉条纹的成像；左边依次放置第一1/4波片(25)、第一五棱镜(26)，第一五棱镜(26)的一个直角面为入射面与光轴垂直且正对第一1/4波片，另一直角面为出射面；第二五棱镜(27)置于第一五棱镜(26)的正下方，第一五棱镜(26)的出射面与第二五棱镜(27)的入射面平行相对，第二五棱镜(27)的出射面正对待测筒状非球面镜(28)的内表面；待测筒状非球面镜(28)放置在旋转平台(29)上，使待测筒状非球面镜(28)的轴与旋转平台(29)的转轴重合。