[发明专利]缓冲层诱导织构铁电薄膜的制备方法无效
| 申请号： | 200910071930.5 | 申请日： | 2009-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN101538156A | 公开（公告）日： | 2009-09-23 |
| 发明（设计）人： | 王文;冯明;周玉;贾德昌;柯华 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | C04B35/491 | 分类号： | C04B35/491;C04B35/472;C04B35/624 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 | 代理人： | 荣 玲 |
| 地址： | 150001黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 缓冲层诱导织构铁电薄膜的制备方法，它涉及一种铁电薄膜的制备方法。本发明解决了现有方法制备得到的铁电薄膜性能差的问题。方法：一、制备LaNiO3缓冲层溶胶；二、经旋涂、保温、退火制得缓冲层薄膜；三、将铁电氧化物溶胶滴加到基片上，经旋涂、保温、退火制得铁电薄膜。本发明制备得到的铁电薄膜介电性和压电性能好，本发明的制作工艺简单，本发明制作得到的铁电薄膜与硅技术等集成器件兼容，应用前景好。 | ||
| 搜索关键词： | 缓冲 诱导 织构铁电 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、缓冲层诱导织构铁电薄膜的制备方法，其特征在于缓冲层诱导织构铁电薄膜的制备方法按照以下步骤进行：一、按照重量份数比将1.6～2份的硝酸镧、1～1.2份的乙酸镍和10～30份的乙二醇甲醚混合，然后搅拌加热至完全溶解；即得到LaNiO3缓冲层溶胶；二、将LaNiO3缓冲层溶胶滴加到基片上，以1000～2000r/min旋涂5～15s，再以3500～4500r/min旋涂15～25s后在300～450℃条件保温4～5min，然后在600～800℃条件下退火5～15min，冷却至室温即为缓冲层薄膜；三、将铁电氧化物溶胶滴加到缓冲层薄膜上，以1000～2000r/min旋涂5～15s，再以3500～4500r/min旋涂15～25s后在300～450℃条件保温4～5min，然后在600～800℃条件下退火5～15min，冷却至室温即为铁电薄膜。
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