[发明专利]冷心放肩微量提拉法生长大尺寸蓝宝石单晶的快速退火方法有效
| 申请号： | 200910072376.2 | 申请日： | 2009-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN101580965A | 公开（公告）日： | 2009-11-18 |
| 发明（设计）人： | 左洪波;杨鑫宏;宋波;王玉平;王天成 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工大奥瑞德光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/20;C30B15/20 |
| 代理公司： | 哈尔滨市哈科专利事务所有限责任公司 | 代理人： | 刘 娅 |
| 地址： | 150431黑龙江省哈*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种冷心放肩微量提拉法生长大尺寸蓝宝石单晶的快速退火方法，采用冷心放肩微量提拉法生长蓝宝石单晶，生长完毕后，保持晶体生长炉内真空度，不关电源，按一定的降温程序减小加热功率直至功率等于零，再通入惰性气体进行快速冷却。本发明的有益效果在于：1.可降低晶体位错密度，可降低大直径、高膨胀系数晶体的晶格空位、消除晶格畸变、位错等缺陷密度，防止晶体开裂，提高晶体质量和利用率；2.晶体实现原位退火，在保证晶体质量的前提下可缩短晶体生长周期；3.可降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 冷心放肩 微量 提拉法 生长 尺寸 蓝宝石 快速 退火 方法 | ||
【主权项】：
1、一种冷心放肩微量提拉法生长大尺寸蓝宝石单晶的退火工艺方法，其特征在于采用冷心放肩微量提拉法生长蓝宝石单晶，生长完毕后，保持晶体生长炉内真空度，不关电源，按一定的降温程序减小加热功率直至功率等于零，再通入惰性气体进行快速冷却。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于哈尔滨工大奥瑞德光电技术有限公司，未经哈尔滨工大奥瑞德光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910072376.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
