[发明专利]一种圆弧刃金刚石刀具刀尖圆弧圆度的检测装置

摘要

一种圆弧刃金刚石刀具刀尖圆弧圆度的检测装置，属于金刚石刀具刀尖圆弧圆度的检测技术领域。它解决了目前用于圆弧刃金刚石刀具刀尖圆弧圆度检测的装置存在检测精度低、不能满足高精度的刀尖圆弧圆度的测量要求的问题。它由原子力显微镜系统、单片机控制器、测量控制计算机、二维精密位移工作台和回转轴系组成，回转轴系置于二维精密位移工作台上，测量控制计算机用于显示检测数据并输出控制信号给单片机控制器控制回转轴系的转动，回转轴系与原子力显微镜系统的扫描控头的相对位置通过二维精密位移工作台进行调节，扫描探头检测到的信号由原子力显微镜系统中的控制器传递给控制计算机进行监控。本发明用于金刚石刀具刀尖圆弧圆度的检测。

主权项

1、一种圆弧刃金刚石刀具刀尖圆弧圆度的检测装置，其特征在于它由原子力显微镜系统(1)、单片机控制器(2)、测量控制计算机(3)、二维精密位移工作台(4)和回转轴系(5)组成，回转轴系(5)置于二维精密位移工作台(4)上；原子力显微镜系统(1)的检测结果输出端连接单片机控制器(2)的检测结果输入端，单片机控制器(2)通过RS232接口与测量控制计算机(3)的RS232接口相连，单片机控制器(2)控制信号输出端连接回转轴系(5)的控制信号输入端，回转轴系(5)的角度位置信号输出端连接单片机控制器(2)的角度位置信号输入端；原子力显微镜系统(1)的位移控制信号输出端连接二维精密位移工作台(4)的位移控制信号输入端；原子力显微镜系统(1)由扫描探头(1-1)、控制器(1-2)、控制计算机(1-3)和信号接口单元(1-4)组成；信号接口单元(1-4)的信号采集输入端连接控制器(1-2)的第一检测结果输出端，控制器(1-2)的第二检测结果输出端连接控制计算机(1-3)的监控信号输入端，控制计算机(1-3)的监控信号输出端连接控制器(1-2)的监控信号输入端，控制器(1-2)的监控信号输出端连接扫描探头(1-1)的监控信号输入端，扫描探头(1-1)的检测信号输出端连接控制器(1-2)的检测信号输入端；控制器(1-2)的信号输出端是原子力显微镜系统(1)的位移控制信号输出端，信号接口单元(1-4)的信号输出端是原子力显微镜系统(1)的检测结果输出端；回转轴系(5)由气浮轴系(5-1)、调心装置(5-2)和夹具(5-3)组成；气浮轴系(5-1)由空气静压轴承(5-11)、圆光栅(5-12)、柔性联轴节(5-13)和力矩电机(5-14)组成；空气静压轴承(5-11)的主轴的一端与调心装置(5-2)的底面固定连接，气浮轴系(5-1)和调心装置(5-2)的中心轴线重合，夹具(5-3)固定在调心装置(5-2)的顶面；空气静压轴承(5-11)的主轴的另一端通过柔性联轴节(5-13)连接力矩电机(5-14)的输出轴，圆光栅(5-12)固定在空气静压轴承(5-11)上，所述圆光栅(5-12)用于检测回转轴系(5)运行时空气静压轴承(5-11)所处的角度位置信号，圆光栅(5-12)的信号输出端是回转轴系(5)的角度位置信号输出端；力矩电机(5-14)的控制信号输入端是回转轴系(5)的控制信号输入端。