[发明专利]一种PZT超薄膜的制备方法

摘要

一种PZT超薄膜的制备方法，它涉及一种陶瓷薄膜的制备方法。它解决了现有制备PZT超薄膜粒子排列无序且不够紧密的问题。方法：一、称取Pb(CH3COO)2·3H2O、Zr(OC3H7)4和Ti(OC4H9)4并搅拌均匀，静置后得PZT溶胶；二、采用LB膜技术制备PZT超微粒/硬脂酸复合LB膜；三、将PZT超微粒/硬脂酸复合LB膜经过快速退火处理，即得PZT超薄膜。本发明方法得到的PZT超薄膜粒子排列有序、紧密。本发明方法工艺简单、成本低。

主权项

一种PZT超薄膜的制备方法，其特征在于PZT超薄膜的制备方法按以下步骤实现：一、将Pb(CH3COO)2·3H2O加入到乙二醇-独甲醚中，在温度为40～60℃的条件下加热至溶解，然后蒸馏至水分挥发，冷却，而后加入Zr(OC3H7)4并搅拌、混合均匀，再加入Ti(OC4H9)4并搅拌20～40min，静置2～3h，得PZT溶胶；二、采用LB膜技术将PZT溶胶溶于去离子水中，形成pH值为4～5、浓度为0.02～0.06mol/L的亚相液、在亚相温度为23.0℃条件下向亚相溶液中滴加70～90μL硬脂酸/氯仿溶液，静置10～30min，而后以滑障速度为5～7mm/min、提拉速度为5～7mm/min的条件下提拉至基片上，得PZT超微粒/硬脂酸复合LB膜；三、将PZT超微粒/硬脂酸复合LB膜在温度为550～850℃条件下退火3～7min，即得PZT超薄膜；其中步骤一中按Pb元素、Zr元素和Ti元素108～112∶50～54∶46～50的摩尔比称取Pb(CH3COO)2·3H2O、Zr(OC3H7)4和Ti(OC4H9)4；步骤二中基片为Si/SiO2/Ti/Pti基片。