[发明专利]一种应用离子氮化工艺制备太阳能吸收涂层的方法无效

专利信息
申请号: 200910074353.5 申请日: 2009-05-12
公开(公告)号: CN101570846A 公开(公告)日: 2009-11-04
发明(设计)人: 陟成刚;王超;唐宾;张翔宇;刘俊;谢燕翔 申请(专利权)人: 太原理工大学
主分类号: C23C8/36 分类号: C23C8/36;F24J2/48
代理公司: 山西太原科卫专利事务所 代理人: 戎文华
地址: 030024山*** 国省代码: 山西;14
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摘要: 一种应用离子氮化工艺制备太阳能吸收涂层的方法是以铝合金管为阴极,利用离子氮化工艺在铝合金管表面形成成分梯度变化的渐变的氮化铝/铝(AlN-Al)太阳能吸收涂层。本发明方法引入了石墨源极,增加了氮化铝涂层的吸热效率,提高了太阳能吸收效率,具有渗速快,渗层均匀,设备简单,成本低廉等优点。
搜索关键词: 一种 应用 离子 氮化 工艺 制备 太阳能 吸收 涂层 方法
【主权项】:
1.一种应用离子氮化工艺制备太阳能吸收涂层的方法,包括铝合金管的预处理方法,离子氮化工艺,其特征是将预处理后的铝合金管置入离子氮化炉中,通入氩气,在气压为20~60Pa下,调节电压400~600V,溅射清洗后,再通入氮气或氨气,增压至200~400Pa后,控制氩气和氮气体积比为0.2~1或者氩气和氨气体积比为0.5~1,在工作电压为500~800V,工作温度为240~500℃下对铝合金管表面进行离子氮化,保温1~2小时后,在铝合金管表面生成成分梯度变化的渐变A1N-Al,即为太阳能吸收涂层。
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