[发明专利]一种拖动力原理和热线原理集成式微型风速传感器有效
申请号: | 200910076561.9 | 申请日: | 2009-01-07 |
公开(公告)号: | CN101769936A | 公开(公告)日: | 2010-07-07 |
发明(设计)人: | 赵湛;杜利东;方震;韩有君 | 申请(专利权)人: | 中国科学院电子学研究所 |
主分类号: | G01P5/12 | 分类号: | G01P5/12;G01P5/08 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 周国城 |
地址: | 100080北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种拖动力原理和热线原理集成式微型风速传感器,涉及传感器技术,包括:热式测量风速部分,其双端固支悬梁支撑热线电阻,热线电阻用作测量,风吹热线后热线电阻发生变化,通过测量热线电阻的变化测量风速,热线电阻对小风速的测量有很高灵敏度。还包括:机械式测量风速部分,其薄板是迎风结构,敏感梁用作测量,风吹薄板使敏感梁弯曲,通过测量敏感梁弯曲程度来测量不同方向风作用力大小;应变传感器覆于敏感梁上,把梁弯曲信号转变为可测量电信号。本发明传感器是用热式和机械式两种原理结合测量风速,对大小风速都具高灵敏度;封装体积小。可广泛用于国防航空、气象环境、交通运输、工业制造、农业生产等方面。 | ||
搜索关键词: | 一种 拖动 原理 热线 集成 式微 风速 传感器 | ||
【主权项】:
一种拖动力原理和热线原理集成式微型风速传感器,其特征在于:包括边框(8),热式测量风速部分(1)和机械式测量风速部分(2),两部分位于边框(8)内;其中,热式测量风速部分(1)包括:双端固支悬梁(3)和热线电阻(4);双端固支悬梁(3)位于边框(8)内上部,两端固定于边框(8)的两侧边内侧,走向与边框(8)轴向正交;热线电阻(4)覆置于双端固支悬梁(3)的表面,热线电阻(4)的端头位于边框(8)侧边的表面;机械式测量风速部分(2)包括:薄板(5)、敏感梁(6)、应变传感器(7);薄板(5)侧边固接有敏感梁(6)一端,位于边框(8)内下部,敏感梁(6)另一端固定于边框(8)侧边内侧,敏感梁(6)走向与边框(8)轴向相同或垂直;应变传感器(7)覆置于敏感梁(6)的表面,应变传感器(7)的端头位于边框(8)侧边的表面。
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