[发明专利]双扭杆谐振扫描反射镜无效
| 申请号： | 200910076822.7 | 申请日： | 2009-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN101477248A | 公开（公告）日： | 2009-07-08 |
| 发明（设计）人： | 韩维强;沈忙作;廖胜 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;H02K33/18;G01D5/12 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人： | 李新华;徐开翟 |
| 地址： | 610209*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 双扭杆谐振扫描反射镜，包含：扫描反射镜组件：包含有两根扭转杆和反射镜镜身，在接受与扫描反射镜机械谐振频率相同的周期力激励下产生与激励力幅度对应的绕两杆连线的往复振动；支撑系统：由基板和支臂组成，为扫描反射镜组件提供必要的支撑和约束；驱动系统：由永磁体和驱动线圈构成，用来无接触驱动扫描反射镜组件振动；位置反馈系统：由位置传感器及反馈信号处理电路组成，用来高灵敏度和噪声抑制性地获取与扫描反射镜组件的振幅成比例的位置反馈信号；闭环控制系统：由驱动系统、位置反馈系统、驱动信号产生电路组成，用来控制扫描反射镜组件的稳定振动；本发明的双扭杆谐振扫描反射镜可以实现大口径高频率光束扫描。 | ||
| 搜索关键词： | 双扭杆 谐振 扫描 反射 | ||
【主权项】：
1、双扭杆谐振扫描反射镜，其特征在于：包含以下组成部分：A扫描反射镜组件(1)，包含有两根扭转杆(13A，13B)和反射镜镜身(40)，在与扫描反射镜机械谐振频率相同的周期力激励下产生与激励力幅度对应的绕两杆连线的往复振动；B支撑系统，由基板(5)和支臂(9A，9B)组成，为扫描反射镜组件(1)提供必要的支撑和约束；C驱动系统(41)，由永磁体(21A、21B)和驱动线圈(2A，2B)构成，用来驱动扫描反射镜组件(1)振动；D位置反馈系统(42)，由压电位置传感器(20A、20B)及反馈信号处理电路(24)组成，用来获取与扫描反射镜组件(1)的振幅成比例的位置反馈信号；F闭环控制系统，由驱动系统(41)、位置反馈系统(42)、驱动信号产生电路(23)组成，用来控制扫描反射镜组件(1)的稳定振动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院光电技术研究所，未经中国科学院光电技术研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910076822.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
