[发明专利]一种氧化锌径向同质结及其制备方法无效
申请号: | 200910079154.3 | 申请日: | 2009-03-03 |
公开(公告)号: | CN101497425A | 公开(公告)日: | 2009-08-05 |
发明(设计)人: | 常永勤;陆映东 | 申请(专利权)人: | 北京科技大学 |
主分类号: | B82B1/00 | 分类号: | B82B1/00;C01G9/02;B82B3/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100083*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种氧化锌径向同质结及其制备方法,属于纳米材料和纳米技术领域,特别涉及一种氧化锌径向同质结及其制备方法。本发明采用化学气相沉积(CVD)方法在硅衬底上沉积氧化锌掺杂薄膜,以镓或氧化铟作为氧化锌中掺杂元素的蒸发源,将锌粉、镓或氧化铟与石墨粉以1∶7~1∶3的摩尔比混合后形成的混合源,放入石英舟中;将等体积的45~150mM的硝酸锌[Zn(NO3)2·6H2O]和45~100mM的六亚甲基四胺[C6H12N4]配成溶液,采用溶液法在CVD制备的产物上沿径向生长氧化锌包覆层,能够实现通过在掺杂氧化锌径向方向包覆一层未掺杂氧化锌,形成径向同质结,并且工艺简单,可以大量制备。 | ||
搜索关键词: | 一种 氧化锌 径向 同质 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1、一种氧化锌径向同质结,其特征在于,以氧化锌为基,在掺杂氧化锌六棱短柱外包覆一层未掺杂氧化锌。
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