[发明专利]薄膜太阳电池多层透明导电膜及其制造方法

摘要

本发明提供一种薄膜太阳电池多层透明导电膜及其制造方法，其在薄膜太阳电池中，通过在不连续TCO层14上沉积连续TCO层16，增加可见光和近红外光的透过率；同时通过在不连续TCO层14上制备绒面结构，可在连续TCO层16上自动实现绒面结构，不需要后续的制绒过程，大大简化了生产工艺、降低了生产成本；通过控制前驱物中水和盐酸的含量，还可以控制形成不连续TCO层的形貌，从而进一步控制连续TCO层的形貌，控制所形成的透明导电氧化物的绒面结构，大大提高薄膜太阳电池的转换效率。

主权项

1.一种薄膜太阳电池多层透明导电膜，其特征在于，包括纳离子阻挡层(13)、不连续TCO层(14)、不同氧化物层(15)、连续TCO层(16)。