[发明专利]一种自组装生长池及自组装生长的控制系统无效
申请号: | 200910080543.8 | 申请日: | 2009-03-20 |
公开(公告)号: | CN101838840A | 公开(公告)日: | 2010-09-22 |
发明(设计)人: | 孟庆波;高奎意;黄姝青;郑中玉;罗艳红;李冬梅 | 申请(专利权)人: | 中国科学院物理研究所 |
主分类号: | C30B5/00 | 分类号: | C30B5/00 |
代理公司: | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人: | 王勇;徐丁峰 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种自组装生长池及自组装生长控制系统,该控制系统包括:自组装生长池、温度控制模块和压强控制模块;温度控制模块包括温度传感器、温度控制电路和半导体制冷片;压强控制模块包括绝压传感器、压强控制电路和压电阀;温度传感器布置在所述自组装生长池的靠近晶体生长的前沿,半导体制冷片布置在所述自组装生长池的侧面或者底部,温度控制电路连接在所述温度传感器与所述半导体制冷片之间,用于控制所述自组装生长池的温度;绝压传感器和压电阀布置在所述自组装生长池上,所述压强控制电路布置在所述绝压传感器和压电阀之间,用于控制所述自组装生长池的压强。该系统易于控制、操作简单、样品质量高、重复性好。 | ||
搜索关键词: | 一种 组装 生长 控制系统 | ||
【主权项】:
一种自组装生长池,包括:由热导率高的金属制成的外壳;玻璃内胆;其中,所述玻璃内胆与温度传感器接触,所述自组装生长池的内部环境与所述自组装生长池外部的绝压传感器相连。
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