[发明专利]一种用于等离子体浸没注入剂量检测的法拉第装置有效
| 申请号： | 200910080916.1 | 申请日： | 2009-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN101847559A | 公开（公告）日： | 2010-09-29 |
| 发明（设计）人： | 汪明刚;刘杰;夏洋;李超波;陈瑶;赵丽莉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/02;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于等离子体浸没注入剂量检测的法拉第装置，该装置包括一个用于将收集到的离子流转化成电信号的法拉第杯和一个为该法拉第杯安装提供支撑的保护环。法拉第杯由杯身和杯口构成，杯身具有三层结构，在电性上分别是外导电层、杯身绝缘层和内导电层，外导电层用于屏蔽，杯身绝缘层用于隔离内导电层和外导电层，内导电层用于收集信号；杯口具有三层结构，在电性上分别是上导电层、杯口绝缘层和下导电层，上导电层用于接负偏压，杯口绝缘层用于隔离上导电层和下导电层，内导电层用于收集从法拉第杯内部跑到杯口的二次电子。本发明提高了法拉第检测结果的精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 等离子体 浸没 注入 剂量 检测 法拉第 装置 | ||
【主权项】：
一种用于等离子体浸没注入剂量检测的法拉第装置，其特征在于，该装置包括一个用于将收集到的离子流转化成电信号的法拉第杯(40)和一个为该法拉第杯安装提供支撑的保护环(33)。
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