[发明专利]平板显示用刻蚀液有效
| 申请号： | 200910083934.5 | 申请日： | 2009-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN101585662A | 公开（公告）日： | 2009-11-25 |
| 发明（设计）人： | 冯卫文 | 申请（专利权）人： | 绵阳艾萨斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 关 畅;任凤华 |
| 地址： | 621000四川省绵阳*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种平板显示用刻蚀液。该刻蚀液包括草酸、三氟甲基苯磺酸和水。草酸的使用量为刻蚀液总重的1～10％，三氟甲基苯磺酸的使用量为刻蚀液总重的0.5～5％，余量为水。本发明提供了一种高效、高刻蚀精度、无刺激气味的平板显示用刻蚀液。该刻蚀液是用来刻蚀ITO透明导电膜的，所选用的草酸和三氟甲基苯磺酸均为有机酸。由这两类有机酸组成的混合物不易挥发、浸润性好，当用于ITO导电膜刻蚀液时，该刻蚀液组成物具有刻蚀性能好、无残渣、环境污染小等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 平板 显示 刻蚀 | ||
【主权项】：
1、平板显示用刻蚀液，包括草酸、三氟甲基苯磺酸和水。
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