[发明专利]TFT-LCD阵列基板及其制造方法

摘要

本发明涉及一种TFT-LCD阵列基板及其制造方法。阵列基板包括栅线和数据线，栅线和数据线限定的像素区域内形成有像素电极和薄膜晶体管，薄膜晶体管的TFT沟道区域的上方形成有遮挡层。制造方法包括：沉积栅金属薄膜，形成栅线和栅电极的图形；沉积栅绝缘层、半导体薄膜和掺杂半导体薄膜，形成有源层的图形；沉积透明导电薄膜和源漏金属薄膜，形成像素电极、数据线、源电极、漏电极和TFT沟道区域的图形；沉积钝化层和遮挡薄膜，形成遮挡层、栅线接口过孔和数据线接口过孔的图形，遮挡层位于TFT沟道区域的上方。本发明在不增加生产工艺的前提下避免了漏电流的产生，并提高了单位面积存储电容的大小。

主权项

一种TFT-LCD阵列基板，包括栅线和数据线，所述栅线和数据线限定的像素区域内形成有像素电极和薄膜晶体管，其特征在于，所述薄膜晶体管的TFT沟道区域的上方形成有遮挡层。