[发明专利]一种组合式三维高速扫描装置

摘要

本发明公开了一种组合式三维高速扫描装置，该装置主要包括三维扫描器和高速一维扫描器，当样品台固定在高速一维扫描器上时，所述的高速一维扫描器通过固定底座安装在三维扫描器上，高速一维扫描器带动样品台与三维扫描器一起实现三维高速扫描；当样品台固定在三维扫描器上时，所述的高速一维扫描器固定在探针固定架上，高速一维扫描器带动探针与三维扫描器一起实现三维高速扫描。本发明具有扫描速度非常高(视频扫描速度)、扫描范围大，结构简单，使用简便、成本低廉；抗干扰能力强，能够很好地实现SPM高速成像。

主权项

1、一种组合式三维高速扫描装置，其特征在于：该装置主要包括三维扫描器和高速一维扫描器，当样品台固定在高速一维扫描器上时，所述的高速一维扫描器通过固定底座安装在三维扫描器上，高速一维扫描器带动样品台与三维扫描器一起实现三维高速扫描；当样品台固定在三维扫描器上时，所述的高速一维扫描器固定在探针固定架上，高速一维扫描器带动探针与三维扫描器一起实现三维高速扫描；所述的高速一维扫描器包括固定片A、B和双层压电陶瓷片，所述的双层压电陶瓷片一端通过固定片A、B固定连接，另一端为自由端，自由端粘接样品台或者探针；所述固定片A、B通过固定底座与三维扫描器或者探针固定架连接。