[发明专利]反应腔室及化学气相沉积设备

摘要

本发明公开了一种反应腔室及化学气相沉积设备，反应腔室的下方设有抽气管路，抽气管路靠近反应腔室的一段为U型或V型的折弯型，折弯型部位背离反应腔室排气口的一侧安装有滤网，抽气管路的折弯型部位的底部设有储尘槽和除尘法兰。工艺过程中，粉尘能够沉积在抽气管路的折弯型部位下部的储尘槽中，减少对滤网的堵塞，能够缓解化学气相沉积设备抽气管路中的粉尘阻塞，降低设备抽气管路的维护频率，并降低维护难度，提高了设备的运行效率，减少了设备的运行成本。

主权项

一种反应腔室，所述反应腔室的下方设有抽气管路，其特征在于，所述抽气管路靠近反应腔室的一段为向下的折弯型，所述抽气管路的折弯型部位背离所述反应腔室排气口的一侧安装有滤网。