[发明专利]一种镀膜工艺控制方法及控制系统有效
| 申请号： | 200910087670.0 | 申请日： | 2009-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN101592926A | 公开（公告）日： | 2009-12-02 |
| 发明（设计）人： | 马平 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G05B19/04 | 分类号： | G05B19/04 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 | 代理人： | 苏培华 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种镀膜工艺控制方法及控制系统，能够准确的实现多批次镀膜工艺采用不同配置参数及相应参数值的连续进行。所述方法包括：针对多批次的镀膜工艺，编写每批镀膜工艺需要的配置参数及相应参数值，每批镀膜工艺需要的配置参数及相应参数值包括单步或多步的配置参数及相应参数值，将每批镀膜工艺定义一个对象，在每批镀膜工艺定义的对象中：单步镀膜工艺定义一个单步对象，多步镀膜工艺定义一个对象数组，将多批镀膜工艺定义的对象通过哈希表保存，在每批镀膜工艺流程中，自动获取当前批次的配置参数及相应参数值后执行镀膜工艺流程。本发明完成了自动化量产，而且支持镀膜工艺需要多步配置参数及相应参数值的工艺要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 工艺 控制 方法 控制系统 | ||
【主权项】：
1、一种镀膜工艺控制方法，其特征在于，包括：针对多批次的镀膜工艺，编写每批镀膜工艺需要的配置参数及相应参数值，并保存；在每批镀膜工艺流程中，自动获取当前批次的配置参数及相应参数值；根据所获取的配置参数及相应参数值，执行镀膜工艺流程。
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