[发明专利]采用磁悬浮平面电机的硅片台多台交换系统有效
| 申请号： | 200910088892.4 | 申请日： | 2009-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN101609265A | 公开（公告）日： | 2009-12-23 |
| 发明（设计）人： | 朱煜;张鸣;汪劲松;闵伟;胡金春;尹文生;杨开明;徐登峰;段广洪;蔡田 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H02N15/00 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 | 代理人： | 邸更岩 |
| 地址： | 100084北京市100*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 采用磁悬浮平面电机的硅片台多台交换系统，主要用于光刻机系统中。该硅片台多台交换系统包括基台、硅片台组和硅片台驱动装置，所述硅片台组包括多个结构相同的分别工作于预处理工位或曝光工位的硅片台，所述硅片台驱动装置采用磁悬浮平面电机，磁悬浮平面电机的定子设置在基台顶部，平面电机的动子设置在硅片台底部。本发明给出了该硅片台多台交换系统的一个采用动圈式永磁磁悬浮平面电机的具体实例。实例中，平面电机的定子采用了相邻永磁体充磁方向互成45°角的新型平面永磁阵列。该硅片台多台交换系统通过平面电机直接驱动硅片台实现平面上的多台交换和步进扫描运动，提高了光刻机的生产率、套刻精度和分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 磁悬浮 平面 电机 硅片 台多台 交换 系统 | ||
【主权项】：
1.一种采用磁悬浮平面电机的硅片台多台交换系统，包括基台(11)、硅片台组和硅片台驱动装置，其特征在于：所述硅片台组包括多个结构相同的分别工作于预处理工位或曝光工位的硅片台，所述硅片台驱动装置采用磁悬浮平面电机，磁悬浮平面电机的定子(21)设置在基台顶部，平面电机的动子(24)设置在硅片台底部。
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